首先要提取污染物，并通過(guò)沖洗、壓力噴洗、超聲波沖洗或擦拭的方法將污染物轉(zhuǎn)移到液體介質(zhì)中。然后，利用真空過(guò)濾將粒子留在濾膜上。

零件漂洗后，殘余的油脂和潤(rùn)滑脂通過(guò)旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀選擇性地使液體介質(zhì)（如石油醚）蒸發(fā)并與之分離，然后單獨(dú)稱重。稱量剩余油污重量以量化判斷零件是否達(dá)到無(wú)油表面的質(zhì)量要求。

最簡(jiǎn)單評(píng)估粒子數(shù)量的方法就是稱量濾膜過(guò)濾前后的重量，然后計(jì)算重量差，其重量差就是粒子的重量。對(duì)于最基本的清潔度測(cè)試，這種稱量的結(jié)果就足夠了。

高端光學(xué)粒子掃描儀（顆粒清潔度儀）能夠在幾分鐘內(nèi)，掃描得到濾膜上的粒子計(jì)數(shù)以及尺寸大小。因?yàn)榱Ｗ訏呙鑳x的價(jià)格經(jīng)濟(jì)，并可以快速地讀出數(shù)據(jù)，所以該儀器可用于工廠的日常生產(chǎn)控制過(guò)程中。

在清潔度測(cè)試中，現(xiàn)在更趨向測(cè)量污染物顆粒的空間大小。為了測(cè)量粒子的尺寸大小和體積，必須準(zhǔn)備X-射線顯微斷層攝影系統(tǒng)。

粒度分析的最終方案，是通過(guò)自動(dòng)電子顯微鏡和EDS（能譜儀）測(cè)量其大小和化學(xué)類型。其中包括粒子數(shù)量和大小，以及確認(rèn)每個(gè)粒子的化學(xué)組成。。